单臂液压机液压缸损坏的部位多数在法兰与缸壁连接的圆弧部分，其次在缸壁向缸底过渡的圆弧部分，少数在圆筒筒壁产生裂纹，也有因气蚀严重而破坏的。
(1)单臂液压机缸筒筒壁。一般裂纹首选出现于内壁，逐渐向外发展。列纹向外发展，裂纹多为纵向分布，或与缸壁母线成40度角。
(2)缸的法兰部分。首先在单臂液压机缸兰过度圆弧处的外表面出现列纹，逐渐向圆周方向及向内壁扩展，最后裂透，或者裂纹扩展到钉孔，使法兰局部脱落，个别严重情况，甚至会沿过渡圆弧处法兰整圈开裂而脱落。
(3)缸底，首先在缸底过渡圆弧处的内表面开始出现环向裂纹，逐渐向外壁扩展，乃至裂透。
(4)气蚀，单臂液压机液压缸也有因气蚀产生蜂窝状麻点而损坏，尤其是在进入孔内壁容易产生气蚀!